含氟電子氣分析用氦離子色譜儀

簡要描述：含氟電子氣分析用氦離子色譜儀適用電子工業(yè)用氣體中痕量雜質(zhì)的檢測，小檢測濃度可達(dá)5ppb。儀器配備高靈敏的氦離子化檢測器，采用華愛公司的中心切割技術(shù)，進(jìn)樣閥均帶有吹掃保護(hù)氣路；整機采用多柱箱設(shè)計，并配備進(jìn)樣壓力自動校正系統(tǒng)，不同底氣的樣品的進(jìn)樣量。

產(chǎn)品型號：GC-9560-PDD
廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家
更新時間：2025-04-09
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含氟電子氣分析用氦離子色譜儀適用電子工業(yè)用氣體中痕量雜質(zhì)的檢測，小檢測濃度可達(dá)5ppb。儀器配備高靈敏的氦離子化檢測器，采用華愛公司的中心切割技術(shù)，進(jìn)樣閥均帶有吹掃保護(hù)氣路；整機采用多柱箱設(shè)計，并配備進(jìn)樣壓力自動校正系統(tǒng)，不同底氣的樣品的進(jìn)樣量。產(chǎn)品先后榮獲上海市成果轉(zhuǎn)化*項目。

氟的技術(shù)指標(biāo)：

項目		指標(biāo)
氟（F2）（體積分?jǐn)?shù)）/10^-2	≥	99
氧（O2）+氮（N2）（體積分?jǐn)?shù)）（N2）/10^-2	≤	0.45
四氟化碳（CF4）（體積分?jǐn)?shù)）/10^-2	≤	0.05
氟化氫（HF）（體積分?jǐn)?shù)）/10^-2	≤	0.5

氟氮混合氣的技術(shù)指標(biāo)：

項目		指標(biāo)
氟（F2）（體積分?jǐn)?shù)）/10^-2		20
氮（N2）（體積分?jǐn)?shù)）（N2）/10^-2		80
氧（O2）（體積分?jǐn)?shù)）（N2）/10^-2	≤	0.08
四氟化碳（CF4）（體積分?jǐn)?shù)）/10^-2	≤	0.03

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